Лукичев, Владимир Фёдорович

Эта статья находится на начальном уровне проработки, в одной из её версий выборочно используется текст из источника, распространяемого под свободной лицензией
Материал из энциклопедии Руниверсалис
Владимир Федорович Лукичев
Дата рождения 12 ноября 1954(1954-11-12) (69 лет)
Страна  СССР Россия
Научная сфера микроэлектроника
Место работы Физико-технологический институт РАН, МИРЭА
Альма-матер физический факультет МГУ
Учёная степень доктор физико-математических наук (1997)
Учёное звание член-корреспондент РАН (2011)

Владимир Федорович Лукичев (род. 12 ноября 1954 года) — советский и российский физик, специалист в области элементной базы вычислительных, локационных, телекоммуникационных систем, член-корреспондент РАН (2011).

Биография

Родился 12 ноября 1954 года.

В 1972 году — окончил физико-математическую школу-интернат № 18 имени А. Н. Колмогорова.

В 1978 году — окончил физический факультет МГУ.

В 1983 году — защитил кандидатскую, а в 1997 году — докторскую диссертацию.

С 1988 года — работает в Физико-технологическом институте Российской Академии Наук, с апреля 2005 года — заместитель директора по научной работе, с мая 2017 года — директор института[2]

В 2011 году — избран членом-корреспондентом РАН.

Научная деятельность

Основные научные результаты:

  • получены граничные условия (Куприянова-Лукичева) для квазиклассических неравновесных функций Грина, обобщение которых позволяет рассчитывать параметры структур на основе высокотемпературных сверхпроводников, джозефсоновских переходов с прослойкой из ферромагнетиков, а также многозонных сверхпроводников, таких как MgB2;
  • разработана многокомпонентная модель реактивного ионного травления (РИТ) кремниевых микро- и наноструктур, исследованы предельные возможности РИТ, ограниченные апертурным эффектом, действием краевых полей и силами изображения;
  • дано теоретическое обоснование апертурного эффекта, предсказан обратный апертурный эффект в процессах РИТ, что используется в проектировании интегральных схем; оптимизированы параметры технологического процесса глубокого анизотропного травления кремния с аспектными отношениями более 100, что используется при разработке и создании кремниевых микроэлектромеханических элементов для авиационных навигационных систем;
  • разработана модель плазменно-иммерсионной ионной имплантации для формирования сверхмелкозалегающих р-п переходов, что позволило получить р-п переходы с глубиной залегания до 10 нм для создания кремниевых нанотранзисторов и твердотельных квантовых компьютеров.

Автор более 70 научных публикаций.

Ведет преподавательскую деятельность в должности заведующего кафедрой полупроводниковых приборов Московского института радиотехники, электроники и автоматики.

Под его руководством защищены 1 докторская и 1 кандидатская диссертации.

Ответственный секретарь журнала «Микроэлектроника», заместитель председателя диссертационного совета, член экспертного совета ВАК при Минобрнауки России по электронике.

Примечания

  1. 1,0 1,1 Лукичев Владимир Федорович (ИС АРАН). isaran.ru. Дата обращения: 23 сентября 2017. Архивировано 20 апреля 2017 года.
  2. Приказ ФАНО России о назначении на должность директора Физико-технического института РАН Лукичева В. Ф. (pdf). ftian.ru. Дата обращения: 24 сентября 2017. Архивировано 1 ноября 2019 года.

Ссылки