Файл:EUV photoelectrons and secondaries (vector).svg
Исходный файл (SVG-файл, номинально 249 × 153 пкс, размер файла: 6 КБ)
Описание
| Описание | Top: EUV multilayer and absorber (purple)constituting mask pattern for imaging a line. Bottom: EUV radiation (red) reflected from the mask pattern is absorbed in the resist (amber) and substrate (brown), producing photoelectrons and secondary electrons (blue). These electrons increase the extent of chemical reactions in the resist, beyond that defined by the original light intensity pattern. As a result, a secondary electron pattern that is random in nature is superimposed on the optical image. The unwanted secondary electron exposure results in loss of resolution, observable line edge roughness and linewidth variation. Refs.: N. Felix et al., Proc. SPIE 9776, 97761O (2016); A. Saeki et al., Nanotech. 17, 1543 (2006); T. Kozawa et al., JVST B 25, 2295 (2007). |
|---|---|
| Источник | Own work |
| Время создания | 2014-01-14 15:03:02 |
| Автор или правообладатель | 2pem — Лицензия: CC BY-SA 3.0 (Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0) https://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0 |
| Другие версии файла | — |
Источник файла — сайт Wikimedia Commons, куда он был загружен под одной из свободных лицензий ( https://commons.wikimedia.org/wiki/File:EUV_photoelectrons_and_secondaries_(vector).svg ). Авторов, работавших над этим файлом см. в истории файла: https://commons.wikimedia.org/w/index.php?title=File:EUV_photoelectrons_and_secondaries_(vector).svg&action=history
.svg){kind=link}
.svg&action=history){kind=link}
В общем случае в статьях энциклопедии Руниверсалис файлы используются в соответствии со статьёй 1274 Гражданского кодекса Российской Федерации.
История файла
Нажмите на дату/время, чтобы увидеть версию файла от того времени.
| Дата/время | Миниатюра | Размеры | Участник | Примечание | |
|---|---|---|---|---|---|
| текущий | 11:39, 1 мая 2026 | | 249 × 153 (6 КБ) | SubBot (обсуждение | вклад) |
Вы не можете перезаписать этот файл.
Использование файла
Следующий файл является дубликатом этого файла (подробности):
.svg){kind=link}
- Файл:EUV photoelectrons and secondaries (vector).svg на общем хранилище
Следующая страница использует этот файл:
.svg&oldid=28822892){kind=link}