Файл:EUV H-V Best Focus.png
Внешний вид
EUV_H-V_Best_Focus.png (651 × 515 пкс, размер файла: 45 КБ, MIME-тип: image/png)
Описание
| Описание | Best focus position for horizontal (H) and vertical (V) spaces as a function of pitch and NA (space width = 20 nm for NA=0.33, 12 nm for NA=0.55). A small annular illumination source is used. Ref.: J. van Schoot et al., 2016 EUVL Workshop, slide 19. |
|---|---|
| Источник | https://www.euvlitho.com/2016/P61.pdf |
| Время создания | 2016 |
| Автор или правообладатель | J. van Schoot et al. — Лицензия: Public domain (в общественном достоянии) |
| Другие версии файла | — |
Источник файла — сайт Wikimedia Commons, куда он был загружен под одной из свободных лицензий ( https://commons.wikimedia.org/wiki/File:EUV_H-V_Best_Focus.png ). Авторов, работавших над этим файлом см. в истории файла: https://commons.wikimedia.org/w/index.php?title=File:EUV_H-V_Best_Focus.png&action=history
В общем случае в статьях энциклопедии Руниверсалис файлы используются в соответствии со статьёй 1274 Гражданского кодекса Российской Федерации.
История файла
Нажмите на дату/время, чтобы увидеть версию файла от того времени.
| Дата/время | Миниатюра | Размеры | Участник | Примечание | |
|---|---|---|---|---|---|
| текущий | 11:38, 1 мая 2026 | 651 × 515 (45 КБ) | SubBot (обсуждение | вклад) |
Вы не можете перезаписать этот файл.
Использование файла
Следующий файл является дубликатом этого файла (подробности):
- Файл:EUV H-V Best Focus.png на общем хранилище
Следующая страница использует этот файл:
