Перейти к содержанию

Файл:EUV H-V Best Focus.png

Материал из энциклопедии Руниверсалис

EUV_H-V_Best_Focus.png (651 × 515 пкс, размер файла: 45 КБ, MIME-тип: image/png)

Описание

Описание изображения
Описание Best focus position for horizontal (H) and vertical (V) spaces as a function of pitch and NA (space width = 20 nm for NA=0.33, 12 nm for NA=0.55). A small annular illumination source is used. Ref.: J. van Schoot et al., 2016 EUVL Workshop, slide 19.
Источник https://www.euvlitho.com/2016/P61.pdf
Время создания 2016
Автор или правообладатель J. van Schoot et al. — Лицензия: Public domain (в общественном достоянии)
Другие версии файла

Источник файла — сайт Wikimedia Commons, куда он был загружен под одной из свободных лицензий ( https://commons.wikimedia.org/wiki/File:EUV_H-V_Best_Focus.png ). Авторов, работавших над этим файлом см. в истории файла: https://commons.wikimedia.org/w/index.php?title=File:EUV_H-V_Best_Focus.png&action=history

В общем случае в статьях энциклопедии Руниверсалис файлы используются в соответствии со статьёй 1274 Гражданского кодекса Российской Федерации.

История файла

Нажмите на дату/время, чтобы увидеть версию файла от того времени.

Дата/времяМиниатюраРазмерыУчастникПримечание
текущий11:38, 1 мая 2026Миниатюра для версии от 11:38, 1 мая 2026651 × 515 (45 КБ)SubBot (обсуждение | вклад)

Следующий файл является дубликатом этого файла (подробности):

Следующая страница использует этот файл:

Метаданные